全國首臺“超級針”X射線成像系統“安徽造”
10月31日，中國電科38所在第92屆中國(上海)電子展上發布自主研制的新一代無損檢測設備——“超級針”X射線成像系統，這是全國首臺“超級針”X射線成像系統。該系統擁有“火眼金睛”般的缺陷檢測能力，成像分辨率小于1微米，相當于人類發絲的百分之一，可應用于集成電路、軍工航天、汽車電子、醫療診斷、文物保護等多個領域。
微焦點X射線成像系統是工業無損檢測的常規必備設備，由于具有良好的空間分辨率(微米甚至亞微米級)，能夠觀察物體內部的精細結構，此類設備廣泛應用于集成電路、電子器件、印刷電路板、傳感器等各種器材的無損檢測。
隨著集成電路向高集成度、微型化方向發展，先進封裝工藝對封裝檢測設備提出新的需求和挑戰。一方面，更精細的封裝尺度要求設備分辨率提升至亞微米級，但目前國際上可生產亞微米級分辨率設備的廠商屈指可數；另一方面，隨著芯片制造及封裝過程中越來越多地使用硅、鋁、銅、陶瓷等輕元素材料，對輕元素材料的檢測需求日益凸顯，對設備檢測范圍提出了更高要求。因此，更高分辨率、更高對比度、更大檢測范圍的X射線檢測設備，已成為集成電路封裝檢測行業發展的迫切需要。 “超級針”X射線成像系統的首次亮相，有望改變這一現狀。
對于X射線檢測設備而言，X射線源就相當于“心臟”，其性能直接決定設備的檢測能力。中國電科38所“超級針”X射線成像系統采用獨特的“超級針”X射線源專利技術，基本工作原理是通過X射線管產生X射線，利用射線穿過物體過程中吸收和散射衰減性質，在圖像增強器上形成被掃描物體的透視圖像。區別于傳統的X射線源技術，該設備采用全國首創的“超級針”X射線源，因而以“超級針”冠名，具有成像清晰、性能穩定、潔凈度高、超低輻射、低能成像等優點，在硅、鋁、銅、陶瓷等輕元素材料的精密檢測方面優勢明顯，目前已申請國內外發明專利30余項。
