全國首臺“超級針”X射線成像系統(tǒng)“安徽造”
10月31日，中國電科38所在第92屆中國(上海)電子展上發(fā)布自主研制的新一代無損檢測設(shè)備——“超級針”X射線成像系統(tǒng)，這是全國首臺“超級針”X射線成像系統(tǒng)。該系統(tǒng)擁有“火眼金睛”般的缺陷檢測能力，成像分辨率小于1微米，相當(dāng)于人類發(fā)絲的百分之一，可應(yīng)用于集成電路、軍工航天、汽車電子、醫(yī)療診斷、文物保護(hù)等多個(gè)領(lǐng)域。
微焦點(diǎn)X射線成像系統(tǒng)是工業(yè)無損檢測的常規(guī)必備設(shè)備，由于具有良好的空間分辨率(微米甚至亞微米級)，能夠觀察物體內(nèi)部的精細(xì)結(jié)構(gòu)，此類設(shè)備廣泛應(yīng)用于集成電路、電子器件、印刷電路板、傳感器等各種器材的無損檢測。
隨著集成電路向高集成度、微型化方向發(fā)展，先進(jìn)封裝工藝對封裝檢測設(shè)備提出新的需求和挑戰(zhàn)。一方面，更精細(xì)的封裝尺度要求設(shè)備分辨率提升至亞微米級，但目前國際上可生產(chǎn)亞微米級分辨率設(shè)備的廠商屈指可數(shù)；另一方面，隨著芯片制造及封裝過程中越來越多地使用硅、鋁、銅、陶瓷等輕元素材料，對輕元素材料的檢測需求日益凸顯，對設(shè)備檢測范圍提出了更高要求。因此，更高分辨率、更高對比度、更大檢測范圍的X射線檢測設(shè)備，已成為集成電路封裝檢測行業(yè)發(fā)展的迫切需要。 “超級針”X射線成像系統(tǒng)的首次亮相，有望改變這一現(xiàn)狀。
對于X射線檢測設(shè)備而言，X射線源就相當(dāng)于“心臟”，其性能直接決定設(shè)備的檢測能力。中國電科38所“超級針”X射線成像系統(tǒng)采用獨(dú)特的“超級針”X射線源專利技術(shù)，基本工作原理是通過X射線管產(chǎn)生X射線，利用射線穿過物體過程中吸收和散射衰減性質(zhì)，在圖像增強(qiáng)器上形成被掃描物體的透視圖像。區(qū)別于傳統(tǒng)的X射線源技術(shù)，該設(shè)備采用全國首創(chuàng)的“超級針”X射線源，因而以“超級針”冠名，具有成像清晰、性能穩(wěn)定、潔凈度高、超低輻射、低能成像等優(yōu)點(diǎn)，在硅、鋁、銅、陶瓷等輕元素材料的精密檢測方面優(yōu)勢明顯，目前已申請國內(nèi)外發(fā)明專利30余項(xiàng)。
