上海市計(jì)量測試技術(shù)研究院“集成電路材料中關(guān)鍵雜質(zhì)檢測方法研究和國家標(biāo)準(zhǔn)制定”項(xiàng)目順利通過驗(yàn)收
時(shí)間：2023-10-17 來源：上海市計(jì)量測試技術(shù)研究院/中國上海測試中心
近日，上海市計(jì)量測試技術(shù)研究院承擔(dān)的市市場監(jiān)管局科技計(jì)劃項(xiàng)目“集成電路材料中關(guān)鍵雜質(zhì)檢測方法研究和國家標(biāo)準(zhǔn)制定”（項(xiàng)目編號：2021-02）順利通過驗(yàn)收。
該項(xiàng)目通過質(zhì)譜和加氧技術(shù)的聯(lián)合運(yùn)用，有效解決光刻材料檢測過程中碳沉積問題，關(guān)鍵雜質(zhì)檢出限達(dá)到0.01 μg/kg，回收率為88.5%~119.8%；通過預(yù)吹掃、雙瓶吸收、吸收速度和吸收液體積的優(yōu)化，提升了電子氣體的吸收效率，吸收效率大于92%，技術(shù)成果形成國家標(biāo)準(zhǔn)一項(xiàng)；通過運(yùn)用大流量霧化器，解決了拋光材料堵塞進(jìn)樣系統(tǒng)的問題，關(guān)鍵雜質(zhì)的回收率為84.0%~120.0%，相對標(biāo)準(zhǔn)偏差小于10%，三種方法的線性相關(guān)系數(shù)均大于0.999。項(xiàng)目已為集成電路企業(yè)提供200余次的技術(shù)服務(wù)，加快了材料國產(chǎn)化的進(jìn)程。項(xiàng)目技術(shù)人員組織召開培訓(xùn)會議6次，促進(jìn)集成電路材料檢測的標(biāo)準(zhǔn)化水平提升。
